LT-KFMによるSiチャネルポテンシャルの観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 19a-B-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2996

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

LT-KFMによるSiチャネルポテンシャルの観察

*Miftahul Anwar, 川合雄也, 三木早樹人, Moraru Daniel, 水野武志, 田部道晴

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キーワード: 19a-B-10, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, KFM, MOSFET

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