非晶質SiCにおける構造緩和過程の透過電子顕微鏡「その場」観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17a-TG-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3608

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

非晶質SiCにおける構造緩和過程の透過電子顕微鏡「その場」観察

*石丸学, 平田秋彦, 内藤宗幸

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キーワード: 17a-TG-11, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, 構造緩和

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