カーボンナノチューブ成長におけるプラズマ前処理の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-TE-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3704

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

カーボンナノチューブ成長におけるプラズマ前処理の効果

*中野美尚, 佐藤信太郎, 川端章夫, 村上智, 大道智美, 二瓶瑞久, 粟野祐二

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キーワード: 18a-TE-10, ナノカーボン, 成長技術, カーボンナノチューブ, プラズマ

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