ファイバ型PS/PDIによる非球面ミラーの計測精度　- 非球面形状の凹面ミラー計測 -

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 20a-J-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_527

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

ファイバ型PS/PDIによる非球面ミラーの計測精度　- 非球面形状の凹面ミラー計測 -

*松浦敏晋, 宇高和明, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 山内和人, 片岡俊彦

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キーワード: 20a-J-12, 光, 計測光学, 位相シフト点光源回折干渉計, 光ファイバ, 非球面ミラー計測

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