電子線励起による深紫外光源の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-B-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_252

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

電子線励起による深紫外光源の開発

*福世文嗣, 岡田知幸, 高岡秀嗣, 吉田治正, 島原佑樹, 武富浩幸, 三宅秀人, 平松和政

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キーワード: 16p-B-6, シンポジウム, 結晶工学分科会企画「ワイドギャップ窒化物AlGaNの結晶評価と深紫外光デバイス応用」, AlGaN, 深紫外光源, 電子線

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