応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
セッションID: 16a-S-6
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Suppression of Bulk Trap Generation with Partial Radical Oxidation after Nitric Oxide Annealing
*Woo Duck Jung
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キーワード: 16a-S-6, oxidation, semiconductor, trap
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© 2010 The Japan Society of Applied Physics
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