ECR スパッタカーボン膜とECR プラズマエッチングを用いたSiC キャップアニール技術

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-ZS-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3330

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

ECR スパッタカーボン膜とECR プラズマエッチングを用いたSiC キャップアニール技術

*田嶌哲也, 鳥居博典, 廣野滋, 鎌田智之, 秋山賢輔, 平林康男

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キーワード: 14p-ZS-12, 結晶工学, IV族系化合物, ECRスパッタ, キャップアニール

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