電界放出走査電子顕微鏡用カーボンナノチューブ電子源の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-ZK-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3621

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

電界放出走査電子顕微鏡用カーボンナノチューブ電子源の開発

*中原仁, 市川俊介, 落合知弥, 齋藤弥八

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キーワード: 15p-ZK-15, ナノカーボン, デバイス応用, FE-SEM, カーボンナノチューブ, 電子源

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