TiS<sub>2</sub>膜の硫黄熱処理による酸素ガス応答の改善

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-ZG-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3687

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

TiS₂膜の硫黄熱処理による酸素ガス応答の改善

*三原浩太, 山口洋平, 竹之下翔吾, 神崎雅俊, 栗焼久夫

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キーワード: 14p-ZG-11, 応用物理一般, 新技術, インターカレーション, 酸素センサ, 低次元物質

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