a-IGZO TFTのAC電圧ストレスによる不安定性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-ZJ-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3755

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

a-IGZO TFTのAC電圧ストレスによる不安定性

*藤井茉美, 堀田昌宏, 石河泰明, 浦岡行治

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キーワード: 16a-ZJ-5, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, IGZO, 信頼性, 薄膜トランジスタ

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