III-V族薄膜光回路実現のためのSi基板上BCB貼付GaInAsP薄膜構造品質の改善

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-G-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_914

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

III-V族薄膜光回路実現のためのSi基板上BCB貼付GaInAsP薄膜構造品質の改善

*前田泰奈, 渥美裕樹, 西山伸彦, 荒井滋久

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キーワード: 14p-G-14, 光エレクトロニクス, 光制御, BCB bonding, Membrane

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