III-V CMOS photonicsプラットフォーム実現に向けたグレーティングカプラの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-G-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_917

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

III-V CMOS photonicsプラットフォーム実現に向けたグレーティングカプラの作製

*竹中充, 横山正史, 杉山正和, 中野義昭, 高木信一

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キーワード: 14p-G-17, 光エレクトロニクス, 光制御, CMOS photonics, grating coupler, wafer bonding

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