エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板上のPZT薄膜を用いた超音波センサアレイの製作と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26a-BE-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1326

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板上のPZT薄膜を用いた超音波センサアレイの製作と評価

與木隆弘, 岡田長也, 樋口和樹, *赤井大輔, 石田誠

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キーワード: 26a-BE-8, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, pMUT, 超音波

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