放射光を用いたPET/ITO薄膜引張過程の応力・歪み・電気抵抗同時測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26p-BF-20

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1466

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

放射光を用いたPET/ITO薄膜引張過程の応力・歪み・電気抵抗同時測定

*待永広宣, 佐々木恵梨, 水池敦子, 武田雄希, 下北啓輔, 宮崎司

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キーワード: 26p-BF-20, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ITO, 機械特性, 放射光

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