熱ルミネッセンス法による酸化物半導体の電子トラップ状態計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26p-BF-22

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1468

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

熱ルミネッセンス法による酸化物半導体の電子トラップ状態計測

*宮本真太郎, 末貞和真, 梶山博司, 中澤明

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キーワード: 26p-BF-22, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 酸化物半導体

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