2スパッタ源反応性スパッタ法によるTiO<sub>2</sub>薄膜の低温結晶化促進法の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 27p-BF-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1481

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

2スパッタ源反応性スパッタ法によるTiO₂薄膜の低温結晶化促進法の検討

*安田洋司, 上栗賢人, 飛坂真幸, 星陽一

著者情報

キーワード: 27p-BF-1, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 光触媒, 反応性スパッタ

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2011 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top