ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるNb添加TiO<sub>2</sub>薄膜の堆積(3)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 27p-BF-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1485

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるNb添加TiO₂薄膜の堆積(3)

羽豆耕治, *アリィフォウダ, 南風盛将光, 中山徳行, 田中明和, 秩父重英

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キーワード: 27p-BF-5, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 透明導電性酸化物

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