シリサイド薄膜の光電子分光による研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24a-BC-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1545

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

シリサイド薄膜の光電子分光による研究

*Robert Schafranek, John Baniecki, 石井雅俊, 阿曽広之, 山中一典, 栗原和明

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キーワード: 24a-BC-3, 薄膜・表面, 表面物理・真空, Photoemission, Silicide, Thin Films

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