第58回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 26p-KX-6
会議情報
主催: 社団法人 応用物理学会
会議名: 春季応用物理学関係連合講演会
回次: 58
開催地: 神奈川工科大学
開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27
真空一貫エミッタ作製評価法により水素プラズマ処理した転写モールド法Niエミッタの電界電子放出特性
キーワード:
26p-KX-6,
ビーム応用,
微小電子源,
Emitter Fabrication and Evaluation Vacuum In-Situ System,
Field Emitter Arrays,
Hydrogen Plasma Treatment
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