リモート大気圧プラズマ処理による金属酸化膜の表面改質とその応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26a-BG-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1842

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

リモート大気圧プラズマ処理による金属酸化膜の表面改質とその応用

上田芳彦, *秋山知英, 酒井道

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キーワード: 26a-BG-11, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜･表面処理, プラズマ, 金属酸化膜

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