プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造に対するRFバイアス印加の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 27a-BG-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1862

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造に対するRFバイアス印加の効果

*近藤博基, 木野徳重, 石川健治, 関根誠, 堀勝

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キーワード: 27a-BG-5, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜･表面処理, アモルファスカーボン, プラズマ励起化学気相堆積, 太陽電池

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