Si/Ag層交換を利用したSi薄膜のレーザー直接パターニング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24a-P2-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3032

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

Si/Ag層交換を利用したSi薄膜のレーザー直接パターニング

*清岡雅弘, 池上浩

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キーワード: 24a-P2-15, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, Si薄膜, レーザー, 直接パターニング

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