リモート水素プラズマ処理によるPt/a-Ge:H の合金化反応制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24a-P2-20

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3037

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

リモート水素プラズマ処理によるPt/a-Ge:H の合金化反応制御

*牧原克典, 森澤直也, 藤岡知宏, 松本竜弥, 林将平, 岡田竜弥, 池田弥央, 東清一郎, 宮崎誠一

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キーワード: 24a-P2-20, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, PtGe, リモートプラズマ

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