スパッタ処理による鉄シリサイド単結晶試料のホモエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26p-KU-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3193

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

スパッタ処理による鉄シリサイド単結晶試料のホモエピタキシャル成長

*山口憲司, 松村精大, 山中雄介, 北條喜一, 鵜殿治彦

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キーワード: 26p-KU-7, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 探索的材料物性, 環境半導体, 表面処理

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