スパッタリング法を用いたSrTiO<sub>3</sub>:Pr,Al薄膜の作製(III)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 25p-BJ-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3854

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

スパッタリング法を用いたSrTiO₃:Pr,Al薄膜の作製(III)

*大橋拓也, 清水耕作

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キーワード: 25p-BJ-18, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, 蛍光

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