高速成膜を用いたバックチャネルエッチ型微結晶シリコンＴＦＴ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 27a-BA-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3871

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

高速成膜を用いたバックチャネルエッチ型微結晶シリコンＴＦＴ

*小平新志, 松田高一, 林享, 高林明治, 市川武史

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キーワード: 27a-BA-11, 非晶質・微結晶, プロセス技術・デバイス, 微結晶シリコン

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