非晶質GeS<sub>2</sub>薄膜中Agフォトドーピングにおけるレーザー微細パターニング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26p-KN-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_4173

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

非晶質GeS₂薄膜中Agフォトドーピングにおけるレーザー微細パターニング

*飯島崇弘, 外舘史善, 金井美一, 若木守明

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キーワード: 26p-KN-10, 応用物理一般, 新技術, アモルファスカルコゲナイド, フォトドーピング, レーザプロセシング

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