プラズマエッチング中のチャージング機構の解析(II)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 31a-M-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1323

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

プラズマエッチング中のチャージング機構の解析(II)

*八木澤卓, 辰巳哲也, 真壁利明

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キーワード: 31a-M-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, チャージングダメージ, トンネル電流, プラズマエッチング

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