a-Si膜の極薄化によるMILC結晶成長態様の変化の調査

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 1p-M-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2372

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

a-Si膜の極薄化によるMILC結晶成長態様の変化の調査

*仲前達也, 永田翔, 中川豪, 浅野種正

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キーワード: 1p-M-5, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, 半導体

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