応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第72回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 1p-M-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

水中レーザーアニールによるLTPS-TFT欠陥不活性化処理中に生成される気泡の挙動観察
*青木 麻野, 池上 浩, 町田 絵美, 堀田 昌宏, 石河 泰明, 浦岡 行治
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キーワード: 1p-M-8, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, Defect inactivation, Laser anneal, poly-Si TFT
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