加圧型MOVPE成長InNの転位密度と相純度の成長圧力依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-ZE-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2873

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

加圧型MOVPE成長InNの転位密度と相純度の成長圧力依存性

*岩渕拓也, 平田雅貴, 木村健司, 劉玉懐, 張源涛, キャッティウットプラスラットスック, 片山竜二, 松岡隆志

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キーワード: 30a-ZE-10, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 加圧型MOVPE成長, 相純度, 窒化インジウム

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