応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第72回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 31a-ZH-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

アモルファスシリコン固相結晶化の成膜条件依存性
*西野 諭, 川島 孝啓, 西谷 輝, 小森 一徳, 齊藤 徹, 藤井 稔, 林 真至
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キーワード: 31a-ZH-4, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, 非晶質
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