ピロ燐酸マイクロプロトン交換増速エッチングによるLiNbO<sub>3</sub>リッジ光導波路作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 1p-ZN-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_726

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

ピロ燐酸マイクロプロトン交換増速エッチングによるLiNbO₃リッジ光導波路作製

*多田聡一郎, 藤村昌寿, 栖原敏明

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キーワード: 1p-ZN-9, 光エレクトロニクス, 光制御, 光導波路

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