GaAs系MOVPEにおける気相・表面反応機構解析とシミュレーション

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 29p-ZK-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_87

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

GaAs系MOVPEにおける気相・表面反応機構解析とシミュレーション

*霜垣幸浩

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キーワード: 29p-ZK-3, シンポジウム, III-V半導体MOVPE・HVPEの反応モデリングと装置設計, GaAs, MOVPE, 反応機構解析

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