放射光によるITOフィルム引張過程の応力解析と破断機構

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-ZK-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_876

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

放射光によるITOフィルム引張過程の応力解析と破断機構

*待永広宣, 佐々木恵梨, 水池敦子, 武田雄希, 下北啓輔, 宮崎司

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キーワード: 30a-ZK-1, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ITO, 放射光

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