ラマン分光法によるスパッタSrRuO3薄膜の構造評価とスパッタダメージが特性に及ぼす影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 1p-ZK-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_948

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

ラマン分光法によるスパッタSrRuO3薄膜の構造評価とスパッタダメージが特性に及ぼす影響

*田井丈嗣, 宮崎亘, 大住剛, 金鎭雄, 西出正道, 加茂嵩史, 舟窪浩, 島宏美, 西田謙, 山本孝

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キーワード: 1p-ZK-7, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, rfマグネトロンスパッタリング, ルテニウム酸ストロンチウム, 抵抗率

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