高パワー密度狭帯域軟Ｘ線照射装置の開発とシリコーンゴムの微細加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16a-E6-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1085

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

高パワー密度狭帯域軟Ｘ線照射装置の開発とシリコーンゴムの微細加工

*鳥居周一, 牧村哲也, 岡崎功太, 中村大輔, 高橋昭彦, 岡田龍雄, 新納弘之, 村上浩一

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キーワード: 16a-E6-11, 量子エレクトロニクス, レーザー・プロセッシング, 狭帯域軟X線, 微細加工

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