PLD法によるチタン酸リチウムエピタキシャル薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16a-F6-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1400

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

PLD法によるチタン酸リチウムエピタキシャル薄膜の作製

*高木由貴, 熊谷明哉, 大澤健男, 鈴木竜, 白木将, 大木栄幹, 一杉太郎

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キーワード: 16a-F6-11, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, エピタキシャル薄膜, チタン酸リチウム

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