抵抗変化メモリ動作のTEM その場観察を念頭においた試料作製法の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-F6-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1403

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

抵抗変化メモリ動作のTEM その場観察を念頭においた試料作製法の開発

*工藤昌輝, 大野裕輝, 藤井孝史, 浜田弘一, 有田正志, 高橋庸夫

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キーワード: 16p-F6-2, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ReRAM, イオンシャドー法, 透過型電子顕微鏡

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