走査電子顕微鏡内フォギング電子が形成する絶縁体薄膜表面電位分布の測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-B5-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1638

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

走査電子顕微鏡内フォギング電子が形成する絶縁体薄膜表面電位分布の測定

*大谷優, 長田明, 小原康寛, 小寺正敏

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キーワード: 16p-B5-9, ビーム応用, 電子顕微鏡，評価，測定，分析, KFM, 帯電測定

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