応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 18a-A4-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発 IV
*永田 豊, 原田 哲男, 中筋 正人, 木下 博雄, 緑川 克美
著者情報
キーワード: 18a-A4-6, ビーム応用, リソグラフィ, EUVリソグラフィ, コヒーレントEUV光, 高次高調波
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