水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における成膜速度の向上効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-A7-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1794

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における成膜速度の向上効果

*陸雅, 福島敦史, 阿部祐介, 金淵俊, 竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝

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キーワード: 16p-A7-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ生成･制御, ラジカル注入型プラズマ化学気相堆積法, 微結晶シリコン

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