光干渉計を用いたカーボンナノウォール/Si基板の基板温度計測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-A7-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1823

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

光干渉計を用いたカーボンナノウォール/Si基板の基板温度計測

*平岡丈弘, 夏目将利, 加藤寛人, 堤隆嘉, 太田貴之, 伊藤昌文, 竹田圭吾, 近藤博基, 堀勝

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キーワード: 18a-A7-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, カーボンナノウォール, 基板温度計測, 低コヒーレンス光干渉計

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