人工視覚用高効率刺激電極のIrOxスパッタリング成膜条件最適化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-GP5-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_2568

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

人工視覚用高効率刺激電極のIrOxスパッタリング成膜条件最適化

Pan Yi-Li, *野田俊彦, 笹川清隆, 徳田崇, 神田寛行, 不二門尚, 太田淳

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キーワード: 18a-GP5-15, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 生物・医用工学・バイオチップ, IrOx, スパッタリング, 人工視覚

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