ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub> TFT (3)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-GP5-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_2993

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si_1-xGe_x TFT (3)

*岡部泰典, 鈴木順季, 北原邦紀, 原明人

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キーワード: 16p-GP5-10, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, 多結晶薄膜, 太陽電池, 薄膜トランジスタ

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