水平アレイ振動構造を用いた静電型MEMS発電機におけるエネルギーハーベスティング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-A1-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3085

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

水平アレイ振動構造を用いた静電型MEMS発電機におけるエネルギーハーベスティング

*小野一善, 佐藤昇男, 阪田知巳, 小舘淳一, 佐藤康博, 神好人

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キーワード: 17p-A1-15, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, Energy harvesting, MEMS, Vibration

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