分子動力学シミュレーションを用いた酸化膜付きシリコンナノワイヤ中のフォノン解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-A5-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3113

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

分子動力学シミュレーションを用いた酸化膜付きシリコンナノワイヤ中のフォノン解析

*三枝琢己, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一

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キーワード: 16p-A5-10, 半導体A（シリコン）, シミュレーション, ナノワイヤ, フォノン, 分子動力学シミュレーション

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