GaAs/GaAsP歪み超格子の成長におけるGaAs(001)面と微傾斜面が層厚変調へ及ぼす影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-DP3-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3497

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

GaAs/GaAsP歪み超格子の成長におけるGaAs(001)面と微傾斜面が層厚変調へ及ぼす影響

*金秀光, 中原弘貴, 齋藤晃, 坂貴, 田中信夫, 竹田美和

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キーワード: 17p-DP3-5, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, TEM, 層厚変調, 超格子

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