室温にてRF-DC結合形スパッタ法により作製されたAZO薄膜の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 15p-GP2-27

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_4065

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

室温にてRF-DC結合形スパッタ法により作製されたAZO薄膜の検討

*名越克仁, 樫出淳, 富口祐輔, 清水英彦, 岩野春男, 川上貴浩, 福嶋康夫, 永田向太郎, 坪井望, 野本隆宏

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キーワード: 15p-GP2-27, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, ZnO

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