電解析出Ge薄膜によるSAW伝搬特性への影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17a-C3-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_418

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

電解析出Ge薄膜によるSAW伝搬特性への影響

*兼城千波, 具志堅利実子

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キーワード: 17a-C3-8, 応用物理学一般, 新技術, 弾性表面波, 電解析出法, 半導体薄膜

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